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  • 单晶炉
  • 铸锭炉
单晶硅生长炉JY-CZ1600
主要功能参数 JY-CZ1600
CCD 相素 12,000,000(COLOUR)
个数 单/双CCD
晶料相关 装料量 >800KG(32")
通用直径 8~12"/或非标
坩埚直径 36"/40"
晶棒最长尺寸 >5000mm
机器外型 中炉内径 1600mm
机器安装面积 2380x2160
机器高度 13200
炉体重量 8000KG
电源系统 输入电源 三相 AC380V±5%
MAX:350KVA
电源频率 50Hz/60Hz
主加热器功率 MAX:150KW
DC60V 3000A
副电源装置 120KW/60/2000A
IGBT 全水冷数字CPU控制

水冷热屏升降
籽晶升降 籽晶行程 8500mm
籽晶升速 低速0-10mm/min
高速1000mm/min
籽晶承重 >1300KG
籽晶转速 0-40 rpm
籽晶绳材质 钨质 直径 6mm
坩埚升降 坩埚行程 550mm
坩埚升速 低速0-0.5mm/min
高速200mm/min
坩埚转速 0-20 rpm
最大载重 >1500KG
其他 籽晶晃动范围 籽晶转速<12rpm时
晃动<2mm
炉体水平度 水平<0.06mm/m
极限真空 <3mT
真空漏气率 <0.5mT/Min
控制方式 PLC 三菱R系列PLC
PC 高性能PC(触摸屏)
自动/手动 全自动
称重系统 显示精度 0.1KG
液面测温 控制范围
单晶硅生长炉JY-CZ1600
主要功能参数
CCD
相素 12,000,000(COLOUR)
个数 单/双CCD
晶料相关
装料量 >800KG(32")
通用直径 8~12"/或非标
坩埚直径 36"/40"
晶棒最长尺寸 >5000mm
机器外型
中炉内径 1600mm
机器安装面积 2380x2160
机器高度 13200mm
炉体重量 8000KG
电源系统
输入电源 >三相 AC380V±5%
MAX:350KVA
电源频率 50Hz/60Hz
主加热器功率 MAX:150KW
DC60V 3000A
副电源装置 120KW/60/2000A
IGBT 全水冷数字CPU控制
水冷热屏升降
水冷热屏升降
籽晶升降
籽晶行程 8500mm
籽晶升速 低速0-10mm/min
高速1000mm/min
籽晶承重 >1300KG
籽晶转速 0-40 rpm
籽晶绳材质 钨质 直径 6mm
坩埚升降
坩埚行程 550mm
坩埚升速 低速0-0.5mm/min
高速200mm/min
坩埚转速 0-20 rpm
最大载重 >1500KG
其他
籽晶晃动范围 籽晶转速<12rpm时
晃动<2mm
炉体水平度 水平<0.06mm/m
极限真空 <3mT
真空漏气率 <0.5mT/Min
控制方式
PLC 三菱R系列PLC
PC 高性能PC(触摸屏)
自动/手动 全自动
称重系统
显示精度 0.1KG
液面测温
控制范围
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